AMAT 0010-27983 300 mm Hochtemperatur-Basisbaugruppe
AMAT 0010-27983 300 mm Hochtemperatur-Basisbaugruppe
Product Type: 300 mm Hochtemperatur-Basisbaugruppe
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AMAT 0010-27983 300 mm Hochtemperatur-Basisbaugruppe
Produktbeschreibung
- Typ: Hochtemperatur-Basisbaugruppe
- Anwendung: Halbleiterfertigung, insbesondere für Prozesse, die Präzisionsbearbeitung und Hochtemperaturumgebungen erfordern
Technische Spezifikationen
- Durchmesser : 300 mm
- Material: Hochreine, hochhitzebeständige Materialien wie Keramik (z. B. Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid) oder Quarz
- Heizelement: Eingebettete Heizelemente (z. B. Widerstandsdraht, elektrothermischer Film) für eine gleichmäßige und kontrollierbare Temperaturverteilung
- Temperaturkontrolle: Beinhaltet Temperatursensoren und -regler für Echtzeitüberwachung und -anpassung
- Gewicht : 27 kg
Eigenschaften und Vorteile
- Gleichmäßige Adsorptionskraft: Sorgt für eine bessere Ebenheit und Verarbeitungsgenauigkeit
- Geringe Umweltverschmutzung: Reduziert die Kontamination im Vergleich zu mechanischen Spannfuttern und Vakuumspannfuttern
- Vakuumkompatibilität: Geeignet für Vakuumumgebungen, wobei eine gute Adsorptionsleistung erhalten bleibt
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