AMAT 0010-28715 Elektrostatische Chuck (ESC) Heizung
AMAT 0010-28715 Elektrostatische Chuck (ESC) Heizung
Product Type: Elektrostatische Chuck (ESC) Heizung
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Shipping Port:Jinhua China
Lead Time:1-3 Working Days
Condition: Brand New And 100% Original
Warranty: 12 months
AMAT 0010-28715 Elektrostatische Chuck (ESC) Heizung
Produktbeschreibung
- Typ: Electrostatic Chuck (ESC)-Heizung
- Anwendung: Wird in der Halbleiterherstellung verwendet, insbesondere in Prozessen, die eine präzise Temperaturkontrolle und gleichmäßige Erwärmung erfordern
Technische Spezifikationen
- Durchmesser : 300 mm
- Material: Hochreine Keramik oder ähnlich hitzebeständige Materialien
- Heizelement: Eingebettete Heizelemente für gleichmäßige Temperaturverteilung
- Temperaturkontrolle: Fortschrittliche Sensoren und Steuerungen für präzises Temperaturmanagement
- Gewicht : ca. 27 kg
Eigenschaften und Vorteile
- Gleichmäßige Erwärmung: Sorgt für eine gleichmäßige Temperatur auf dem gesamten Wafer
- Hohe Präzision: Geeignet für Prozesse, die eine exakte Temperaturkontrolle erfordern
- Haltbarkeit: Hergestellt aus Materialien, die hohen Temperaturen und rauen Verarbeitungsumgebungen standhalten
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