AMAT 0010-54703 Reflexion® LK CMP-System
AMAT 0010-54703 Reflexion® LK CMP-System
Product Type: Reflexion® LK CMP-System
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Condition: Brand New And 100% Original
Warranty: 12 months
AMAT 0010-54703 Reflexion® LK CMP-System
Produkteinführung
- Beschreibung: Das Reflexion LK CMP-System von Applied Materials ist eine führende 300-mm-Plattform für chemisch-mechanische Planarisierung (CMP), optimiert für Leistung und Produktivität bei dreistufigen CMP-Anwendungen.
- Eigenschaften: Enthält fortschrittliche Polier-, Reinigungs- und Trocknungstechnologien. Beinhaltet eine einzigartige sequenzielle Polierplattform mit drei Platten und einen integrierten Post-CMP-Desica®-Reiniger mit Marangoni™-Dampftrocknungstechnologie, um Wasserzeichendefekte und Partikelverunreinigungen zu minimieren.
Technische Spezifikationen
- Plattform : 300 mm CMP
- Polieren: Sequentielles Polieren mit drei Platten
- Reinigung: Integrierter Post-CMP Desica®-Reiniger
- Trocknungstechnologie: Marangoni™ Dampftrocknung
- Endpunktmethoden: In-situ-Endpunkt- und Profilkontrollsysteme FullVision® XE und RTPC XE
- Messtechnik: Inline-Messtechnik und erweiterte Prozesskontrollfunktionen
- Echtzeitsteuerung: Patentierte Window-in-Pad-Technologie für präzise Echtzeit-Poliersteuerung
- Sensortechnologie: Breitbandspektroskopie oder Hall-Effekt-Wirbelstromsensorik
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